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静电力驱动有着功耗低、响应时间短、宜于完成高频率的驱动而且结构易于实现的特点,从而广泛应用于微变形镜、微型光谱仪、微陀螺、微谐振器等mems器件。然而采用静电力驱动器件常常需要十分高的恒压电源,所以可以设计一种凯发线上手机app免费下载,满足驱动要求,使得微机械传感器的器件广泛使用。
高压控制设备的工作原理为:上位机根据相应的公式计算出静电力驱动所需的控制电压,经过usb,传输给数字信号处理器来控制d/a转换芯片输出,d/a转换后输出电压经过高压放大施加到微传感器电极上。
高压控制设备主要实现以下功能:
1、通讯功能:通过usb模块实现微机械传感器与上位机程序之间的数据传递。
2、控制功能:采用数字信号处理模块按照传输数据控制转换器输出静电力驱动所需电压。
3、放大功能:将电压同步放大至满足静电力驱动所需范围。
数字信号处理模块由定点数字信号处理器tms320f2812和d/a转换器ad5381组成,其中2812具有高的处理速度、强大的处理功能,时钟频率可达150mhz,片上包含有128k的flash、128k的rom以及18k的ram,满足程序编写的需要,同时还包含丰富的外设接口和事件管理器,十分适合于大批量数据处理的控制场合。而ad5381是一款理想的多通道数模转换器,它具有40个数模转换通道,12位的分辨率,具备并行、串行以及i2c三种数据传输方式,单通道转换时间可以达到30ns,可以满足模块要求。
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